Utviklingen av ultrapresisjonsmaskiner er en viktig forutsetning for utviklingen av ultrapresisjonsmaskinering. De siste årene har utviklede land utviklet en rekke avanserte maskinverktøy for ultrapresisjon. Utviklingsretningen for ultrapresisjonsmaskiner er å ytterligere forbedre nøyaktigheten til ultrapresisjonsmaskinverktøy, utvikle storskala ultrapresisjonsmaskinverktøy og utvikle multifunksjonelle og høyeffektive spesialformål ultrapresisjonsmaskiner.
USA, Storbritannia, Tyskland og andre land begynte å produsere ultrapresisjonsmaskiner på 1970-tallet (Japan på 1980-tallet), og kan levere dem i partier. Når det gjelder ultrapresisjonsmaskiner i stor skala, utviklet LLL National Laboratory i USA med suksess to storskala ultrapresisjonsdiamantdreiebenker i 1986: den ene er en horisontal DTM-3 diamantdreiebenk med en maskineringsdiameter på 2,1 m, og den andre har en maskineringsdiameter på 1,65 m. LODTM vertikal stor optisk diamantdreiebenk. Blant dem er LODTM vertikal stor optisk diamantdreiebenk anerkjent som det ultrapresisjonsmaskinverktøyet med den høyeste presisjonen i verden. USA utviklet senere en storskala 6-akse CNC presisjonsslipemaskin for presisjonssliping av store optiske speil.
Det britiske Cranfield Precision Machining Center utviklet med suksess OAGM-2500 multifunksjons tre-koordinat CNC-slipemaskin i 1991 (bordareal 2500 mm × 2500 mm), som kan behandle (slipe, dreie) og måle presisjonsfrie overflater. Maskinverktøyet tar i bruk metoden for å skjøte arbeidsstykker, og kan også behandle store speil med en diameter på 7,5 m i astronomiske teleskoper.
Japans multifunksjonelle og høyeffektive spesialformål ultrapresisjonsmaskiner har utviklet seg raskt, noe som har spilt en god rolle i å fremme utviklingen av Japans mikroelektronikk og husholdningsapparater.