Mikromaskinteknologi er en svært fleksibel prosess, som kan produsere mikrokomponenter med komplekse former. I tillegg kan den brukes på et bredt spekter av materialer. Dens tilpasningsevne gjør den spesielt egnet for rask drift fra idé til prototype, produksjon av komplekse 3D-strukturer og iterativ produktdesign og utvikling,
1. Fysisk mikrobearbeidingsteknologi
Laserstrålebehandling: en prosesseringsprosess som bruker varmeenergien som styres av laserstrålen for å fjerne materialer fra metall- eller ikke-metalloverflater. Den er mer egnet for sprø materialer med lav ledningsevne, men den kan brukes til de fleste materialer.
Ionestrålebehandling: en viktig ukonvensjonell produksjonsteknologi for mikro/nano-produksjon. Den bruker den akselererte ionestrømmen i vakuumkammeret til å fjerne, legge til eller modifisere atomene på overflaten av objektet.
2. Kjemisk mikrobearbeidingsteknologi
Reaktiv ionetsing (RIE): en plasmaprosess der stoffer eksiteres av RF-utladning for å etse underlag eller filmer i et lavspentkammer. Det er en synergistisk prosess av kjemiske aktive stoffer og høyenergi-ionebombardement.
Elektrokjemisk maskinering (ECM): en metode for å fjerne metaller ved elektrokjemiske prosesser. Det brukes vanligvis til storskala produksjon og bearbeiding av ekstremt harde materialer eller materialer som er vanskelige å bearbeide med tradisjonelle metoder. Bruken er begrenset til ledende materialer. ECM kan kutte små eller uregelmessige vinkler, komplekse konturer eller hulrom i harde og sjeldne metaller.
3. Mekanisk mikrobearbeidingsteknologi
Diamantdreiing: prosessen med å dreie eller bearbeide presisjonskomponenter med en dreiebenk eller avledet maskin utstyrt med naturlig eller syntetisk diamantbor.
Diamantfresing: en skjæreprosess som kan brukes til å generere en asfærisk linsearray ved sirkulær skjæring ved hjelp av et sfærisk diamantverktøy.
Presisjonssliping: en slipende maskinering som gjør at arbeidsstykket kan maskineres til en fin overflatefinish og en svært nær toleranse på 0.0001 ".
Polering: en slipende prosessering, argonionstrålepolering er en ganske stabil prosess, som brukes til å etterbehandle teleskopspeil og korrigere gjenværende feil ved mekanisk polering eller diamantdreiende optiske enheter. MRF-prosessen er den første deterministiske poleringsprosessen. Kommersialisert og brukt i produksjon av asfæriske linser, reflektorer, etc.
