I 1972 utviklet Union Carbide Company i USA vellykket R-θ-modus asfærisk overflatebehandlingsmaskin. Dette er en CNC dreiebenk med to koordinater med posisjonstilbakemelding, som kan endre rotasjonsvinkelen θ og radius R til verktøysetets styreskinne i sanntid for å oppnå speilbearbeiding av asfæriske overflater. Behandlingsdiameteren er opptil φ380mm, og formnøyaktigheten til det behandlede arbeidsstykket er ±O. 63μm, overflateruheten er Ra0,025μm.
Moore Company utviklet først M-18AG asfærisk prosesseringsmaskinverktøy kontrollert av 3 koordinater i 1980. Denne verktøymaskinen kan behandle ulike asfæriske metallspeil med en diameter på 356 mm.
Det britiske selskapet Rank Pneumo introduserte til markedet i 1980 bruken av tilbakemeldingskontroll med laser.
To-akset koblingsmaskinverktøy (MSG-325), maskinverktøyet kan behandle asfæriske metallspeil med en diameter på 350mm, formnøyaktigheten til arbeidsstykket er 0.{ {4}}.5μm, og overflateruheten Ra er 0.01-O. 025 μm. Deretter ble ASG2500, ASG2500T, Nanoform300 og andre maskinverktøy lansert. På grunnlag av ovennevnte verktøymaskiner utviklet selskapet Nanoform600 i 1990. Denne verktøymaskinen kan behandle asfæriske speil med en diameter på 600 mm, og formnøyaktigheten til det behandlede arbeidsstykket er bedre enn 0 ,1μm, overflateruheten er bedre enn 0,01μm.
Den ultrapresisjonsdiamant dreiebenk som representerer det høye nivået til dagens medlemmer er amerikaneren Lawrence. LODTM, som ble utviklet av Livermore (LLNL) laboratoriet i 1984, kan behandle arbeidsstykker med en diameter på 2100 mm og en vekt på 4500 kg, og maskineringsnøyaktigheten kan nå 0,25 μm, og overflateruheten er RaO . 0076μm, maskinen kan behandle plane, sfæriske og asfæriske overflater, hovedsakelig brukt til å behandle deler som kreves for laserfusjonsteknikk, deler til infrarøde enheter og storskala himmelspeil.
Storskala ultrapresisjonsdiamant utviklet av Institute of Precision Engineering (CUPE) ved Cranfield University, Storbritannia
Den høyre speilskjæremaskinen kan behandle asfæriske speil (koniske speil med en maksimal diameter på 1400 mm og en maksimal lengde på 600 mm) for store astronomiske røntgenteleskoper. Instituttet har også med suksess utviklet en diamantskjæremaskin som kan behandle den indre gyroskopiske paraboloiden og det ytre gyroskopiske hyperboloidspeilet til røntgenteleskopet.
Maskinverktøyene for ultrapresisjon utviklet i Japan brukes hovedsakelig til å behandle linser og speil som kreves for sivile produkter. For øyeblikket inkluderer maskinverktøyene laget i Japan: ULG-l00A (H) Fujikoshi utviklet av Toshiba Machinery ASP-L15, Toyota Koki AHN10, AHN30×25, AHN60—3D asfæriske overflatebehandlingsmaskiner osv. .